In diesem Sommer hat LIMO erstmals das innovative g2T^®-Scan System vorgestellt. Dieses 2 in 1 System vereint erstmals die Vorteile zweier verschiedener optischer Konzepte: Die Umwandlung von Gaußstrahlen in homogene „Top Hat“-Profile in Kombination mit einer Scan-Technik bestehend aus Galvo-Spiegeln und einem speziell angepassten F-Theta Objektiv.

Das System wurde für Laser-Direkt-Strukturierung von Materialien mit Single-Mode-Lasern, speziell bei 532 nm, ausgelegt und eignet sich insbesondere für die Solartechnologie. Nun hat das Fraunhofer ISE (Institut für Solare Energiesysteme) erste Erfolge bei der Anwendung dieser Technologie erzielt.

Das Fraunhofer ISE demonstrierte erfolgreich den Abtrag dünner Schichten auf Basis von 75 nm SiN Schichten auf Si und erzielte präzise Ergebnisse, ohne darunter liegende Schichten zu beschädigen. (siehe Grafik) Der Durchsatz kann gegenüber Gaußprofilen signifikant erhöht werden, da mit einem geringeren Puls-zu-Puls-Überlapp gearbeitet werden kann, ohne dass die Qualität der Schichten dabei leidet.

Mit Standard-Spotgrößen von 50x50 µm² können hochpräzise Gräben geschrieben werden, bei denen die Kanten sehr glatt sind im Vergleich zu den typischen Sägezahnmustern bei Gaußstrahlen. Außerdem wird das Prozessfenster durch das homogene Profil vergrößert und thermische Einflüsse reduziert. Dünne Schichtfolgen können somit präzise abgetragen werden und darunter liegende Schichten werden nicht beschädigt. Das Scanfeld ist mit 155x155 mm² so ausgelegt, dass Standard-Solarzellen mit dieser Scan-Technik kostengünstig in einem Durchlauf mit hohem Durchsatz strukturiert werden können.  

Nähere Informationen erhalten Sie bei Klaus Reinecke k.reinecke@limo.de
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