L³ LIMO Line Lasers® - Linienlaser für eine simultane, großflächige thermische Bearbeitung
LIMOs L³ Linienlaser werden bereits erfolgreich zur Optimierung von Funktionsschichten eingesetzt. Sie sind besonders geeignet für die schnelle thermische Bearbeitung (vRTP). So können mit Hilfe von LIMO-Linienlasern Materialeigenschaften optimiert werden. Sogar die Entstehung komplett neuer Materialien ist möglich.
- links: herkömmliche Technologie; rechts: LIMOs Strahlforumgstechnologie
Im Vergleich zur punktuellen Bearbeitung mit einem runden Laserstrahlprofil erfolgt die Bearbeitung mit dem Linienlaser simultan. Dadurch wird eine höhere Prozessgeschwindigkeit erzielt. Zudem sorgt die homogene Intensitätsverteilung der Laserlinie und der Dauerstrich-Betrieb des Lasers für gleichförmige Prozessergebnisse.
Wir bieten Linienlaser mit folgenden Eigenschaften an:
- Linienlänge von 1 mm bis 600 mm
- Linienbreite von 0,05 mm bis 30 mm
- Leistungsdichte bis zu 600 kW/cm²
- Inhomogenität von 1% bis max. 10%
- Leistung von 30 W bis Multikilowatt
- Wellenlängen von 790 nm bis 1470 nm
- Passiv-Kühlung, mikrokanalfreie Kühlung
- Kundenoptimierte Industrielasersysteme inkl. Kühler, Stromversorgung und sämtlichen Schnittstellen, die für eine Integration in eine industrielle Produktion notwendig sind
| Leistung (W) | Wellenlänge (nm) | Linien-Abmaße (mm²) | Datenblatt |
|---|---|---|---|
| > 40 | 808 | 165 x 3; FWHM x FW 1/e² | L³ 165 |
| > 450 | 808 | 12 x 0,07; FWHM x FWHM | L³ 12 |
| > 450 | 980 | 12 x 0,07; FWHM x FWHM | L³ 12 |
| > 900 | 808 | 31 x 0,09; FWHM x FWHM | L³ 31 |
| > 900 | 980 | 31 x 0,09; FWHM x FWHM | L³ 31 |
| > 1900 | 980 | 80 x 0,2; FW95% x FWHM | L³ 80 |
Der L³ LIMO Line Laser® eignet sich für folgende Prozesse:
- Annealing
- Kristallisation
- Sintern
- Aktivierung von Ladungsträger
- RTA - schnelles thermisches Annealing
- RTO - schnelle thermische Oxidation
- RTD - schnelles thermisches Trocknen
- RTC - schnelle thermische Verdichtung
- Simultanschweißen von Kunststoff
- Oberflächenbearbeitung von Metall
Ebenso können die Linienlaser zur Qualitätsprüfung verwendet werden.
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Oder benötigen Sie einen auf Sie zugeschnittenen Laser mit z.B. einer höheren Leistung oder einer speziellen Wellenlänge?
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Neben den Linienlasern bieten wir auch Homogenisierer mit linienförmiger Strahlformung.