Grüne Linie für Annealing

LIMOs Optiksystem Grüne Linie eignet sich bestens für Annealing-Prozesse. Dank einer von LIMO patentierten Technologie wird eine sehr schmale Linie (8 µm) mit höchster Homogenität erzielt. 

Weitere Vorteile sind:

  • Kompakte Bauweise 
  • Geringe Anschaffungs- und Betriebskosten
  • Geringere Wartungskosten im Vergleich zum ELA-Prozess
  • Höhere Standzeit von > 95% (ELA-Prozess 75%)

Mit LIMOs Grüner Linie können folgende Materialien bearbeitet werden:

  • C-Si
  • A-Si auf Glas
  • TCO (ITO) auf Glas
  • Halbleiter (Si, GaAs)

LIMOs Grüne Linie findet z.B. in folgenden Branchen ihren Einsatz:

  • Flachbildschirmproduktion (FPD)
  • Halbleiter-Bauteile
  • Dünnschicht-Solarzellenproduktion

PDF 65 mm Grüne Linie

PDF 200 mm Grüne Linie

Wünschen Sie weitere Informationen oder eine Beratung? Dann mailen Sie uns Ihre Anforderung per Kontaktformular oder rufen Sie uns an. LIMOs Experten beraten Sie gern.