Homogenisierermodule für Hochleistungslaser

LIMOs kundenspezifische schlüsselfertige Homogenisierermodule zur Strahlformung erzeugen aus dem Lichtstrahl von Strahlquellen mit M² > 20 (Excimer-, Nd:YAG- oder Hochleistungsdiodenlasern) eine homogene Linien- bzw. Flächenbeleuchtung. Daneben finden sie auch in Ablations-, Annealing- und Termpering-Prozessen Anwendung. Homogenisierermodule kommen in der Photovoltaik (PV), der Flachbildschirmproduktion (FPD), im Semiconductor-Bereich und in der Messtechnik zum Einsatz.

Beispiel: PDF Photolumineszenz-Messung mit LIMOs Homogensierermodul


Vorteile der LIMO Homogenisierermodule:

  • Inhomogenität von 1% bis 10%
  • Effizienz von 60% bis 90%
  • Transmission von 80% bis 95%


Ebenso bieten wir Ihnen komplette Strahlführungssysteme inkl. Scanner an, ganz individuell nach Ihren Vorgaben.

Präzisionshomogenisierer für die Mikrolithographie

LIMOs Präzisionshomogenisierer finden Anwendung in Belichtungsgeräten (Stepper u. Scanner) der neusten Generation zur Herstellung kleinster Strukturen in Mikrolithographie.
Die Homogenisierer zeichnen sich aus durch Homogenitäten von < 1% P-V, hoher NA und Erhaltung der Polarisation. Eine hohe Effizienz der Homogenisierer spart teure LASER Energie. LIMO Homogenisierer werden aus Fused Silica oder Caf2 hergestellt und sind für alle DUV Wellenlängenbereich bis 193nm einsetzbar.

Vorteile der LIMO Präzisionshomogenisiere
•    Homogenität von < 1% ( P-V)
•    Hohe Effizienz
•    Hohe NA
•    Polarisationserhaltend
•    Hoher Füllfaktor
•    Materialien wie z.B. Fused Silica, CaF2
•    Monolithische Bauweise ermöglicht Größen > 200x200mm²


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