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Strahlformung für die Halbleiterfertigungstechnologie

Strahlformung für die Halbleiterfertigungstechnologie

Mikrooptische Lösungen sind mittlerweile ein unentbehrlicher Teil komplexer Beleuchtungssysteme, die in der Hochleistungshalbleiterfertigung eingesetzt werden. Führende Halbleiterhersteller profitieren nun schon seit vielen Jahren von den zahlreichen Vorteilen, die LIMOs Lösungen im Bereich refraktiver Mikrooptik bieten.

Durch die enge Zusammenarbeit mit unseren Kunden sind wir darauf spezialisiert, neue und innovative Möglichkeiten anzubieten oder bereits bestehende Verfahren zu optimieren. So helfen LIMOs mikrooptische Lösungen der Halbleiterindustrie, bestmögliche Präzision und beste Auflösung in der Produktion zu erreichen. Mit diesen Lösungen hat LIMO dazu beigetragen, die optisch-lithografische Produktion von Strukturen unter 30 nm zu ermöglichen.


Vorteile der LIMO Lösungen:
  • Tiefe Linsenstruktur für große Winkel (Hyper NA)
  • Hohe Homogenität (besser als 1%)
  • Hohe Effizienz (97%) durch hohen Füllfaktor und optimierte optische Oberflächen
  • Kompensation seitlichen Strahlenversatzes durch Homogenisierer (Strahlstabilisierung)
  • Permanente Qualitätskontrolle
  • Metallisierte und gelötete Optiken
  • Lange Lebensdauer
  • Reinraumkompatibel
  • Komplette optische Lösung mit einfacher Handhabung (abgefaste Schutzkanten und mechanische Halter) und Implementierung
  • Verschiedene hochwertige Materialien, wie Gläser (Quartz, S-TIH53, BK7), Kristalle (CaF2, MgF2, YAG, LuAG), Halbleiter (Si, Ge, ZnSe)
  • Zuschnitt in beliebiger Form
  • Großes Spektrum an Intensitätsverteilung durch Freiformoberflächen
  • Verschieden geformte Einzellinsen innerhalb eines Mikrolinsenarrays ermöglichen kundenspezifische Lösungen
  • Hohe Rate an Reproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit durch hoch präzise Herstellungsprozesse und Wafer-Technologie

Produkte & Lösungen:

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