Hochpräzise Strahlformung mit LIMO Homogenisierern

Top Hat, rechteckig, quadratisch und linienförmig – so variabel wie die Strahlformung der LIMO Homogenisierer ist, so variabel sind auch deren Einsatzmöglichkeiten. Ob als Substrat oder als komplettes Modul – die LIMO Strahlformungslösungen werden bereits erfolgreich in der Produktion eingesetzt.

Neben standardisierten Homogenisierer-Substraten bietet LIMO auch maßgeschneiderte Lösungen an. Durch unsere Fertigungstechnologie können so kundenspezifische Freiformflächen mit höchster Präzision auf unterschiedlichen Wafergrößen (bis zu 300 mm) produziert werden.

Vorteile:

  • Vielzahl an Feldgeometrien möglich
  • Homogenität bis an die technischen Grenzen (<1% P-V)
  • Hohe NA, hoher Füllfaktor und Erhaltung der Polarisation
  • Optische Effizienz bis zu 90 % spart teure Laserenergie
  • Hergestellt aus hochwertigen Materialien z.B. Quarzglas, CaF2
  • Verwendbar für viele Laserquellen (z.B. Excimerlaser, Festkörperlaser, Diodenlaser)

Anwendungen

Unsere Standard-Homogenisierer-Substrate werden einzeln oder paarweise für eine gleichmäßige Laserbeleuchtung eingesetzt. Speziell in der Mikrolithografie kommen LIMO's Präzisionshomogenisierer in Belichtungsgeräten (Stepper u. Scanner) zum Einsatz. 

Weitere Anwendungsbeispiele:

  • Ablation
  • Annealing
  • Tempern
  • Halbleiterindustrie
  • FPD (Flachbildschirmproduktion)
  • PV (Photovoltaik)
Effektive Brennweite [mm]Pitch [mm]Größe [mm²]
4,23 - 61,60,512x12
8,55 - 206,50,820x20
5,88 - 98,31,335x35


Neben kundenspezifischen Homogenisierern bietet LIMO auch einseitig strukturierte Mikrolinsenarrays an. Mehr Informationen dazu finden Sie hier.

Homogenisierermodule

Neben kundenspezifischen Homogenisierermodulen bieten wir Ihnen ebenso komplette Strahlführungssysteme inkl. Scanner an, ganz individuell nach Ihren Vorgaben.

Homogenisierermodul (Beam Shaper 180 x 180 mm²) für Schrägbeleuchtung

Beispiel: Photolumineszenz-Messung mit LIMOs Homogenisierermodul

 

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